手動探針臺LNP-3RT

探針臺LNP-3RT為微米級小尺寸樣品電特性測試提供高精度、高接觸可靠性的可控測量環境。設備通過CMA中國計量認證。

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手動探針臺LNP-3RT特點

探針臺材質升級：主體材質航空級鋁材；卡盤材質不銹鋼（可選鍍金），具備更小的接觸電阻，更低的漏電流；

探針臺臺體升級：自適應減震臺體，帶標準地線，防止靜電干擾；

標配精度高：卡盤X-Y行程精度1um，探針X-Y-Z行程精度1um；

快速升降操作：卡盤快速升降，便于快速分離探針；顯微鏡氣動升降，便于更換物鏡和探針卡夾具；

標配氣浮式位移臺：有效隔振，確保移動過程平穩，有效提升位移扎針精度；?

多種卡盤可選：可選配高低溫載片臺系統，同軸/三軸/鍍金卡盤可供選擇，滿足不同預算和多種應用場景需求；

針座平臺升級：全新表面處理工藝，相比鍍鉻針座吸附力更強，提高測試精度，還可安裝探針夾具，兼容探針卡測試；

多種探針座可選：不同調節精度（0.5um/0.7um/1um）針座可選，DC直流或RF射頻探針座可選；

自帶完整高清成像系統：多種類型顯微鏡可選，帶高清CCD成像系統，可拍照，錄像，標尺，可連接顯示器實時觀察；

快速拓展功能：可選配激光器進行失效分析/激光切割/激光打標；

手動探針臺技術參數：

設備型號	LNP-3RT
卡盤大小	8英寸（可定制）
卡盤X-Y行程	200mm x 200mm
卡盤X-Y精度	1um
氣浮X-Y位移臺	標配
卡盤Z軸行程	快速升降5mm，微調6mm
卡盤旋轉角度	粗調360°，精調±5°
探針X-Y-Z行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
探針X-Y-Z行程精度	1um
顯微鏡X-Y行程	2 英寸x 2 英寸
顯微鏡快速升降	快速升降50mm
顯微鏡類型	體式顯微鏡/正像顯微鏡/金相顯微鏡
CCD相機	2K清晰度（可拍照，錄像，標尺）
探針座數量	最多6個（可定制）
卡盤吸附形式	環形或多孔真空吸附環
針座吸附方式	磁力吸附

應用對象：晶圓（Si/Ge/GaAs/InP/SiC/GaN等）、芯片（邏輯/數字/模擬/存儲等）、集成電路、顯示面板（LED/OLED/LCD等）、功率器件（IGBT、MOSFET等）、納米器件、光電器件、分立器件（二極管、三極管、場晶體管等）、太陽能電池等；

應用方向：DC 直流/（IV、CV、漏電流）測試、介電溫譜測試、FA失效分析測試、器件表征測試、芯片線路測試、MEMS微型機電系統測試、集成電路工程、PCB元器件、WLR晶圓級可靠性、老化測試、RF 射頻測試、高精度電流（100fA 級）測試、高功率/大電流/高電壓測試、光電測試、1/f 噪聲測試等。

手動探針臺聯用儀器：源表/數字電橋/半導體參數分析儀/數字萬用表/示波器/網絡分析儀/頻譜分析儀/阻抗分析儀等，根據需求提供聯用方案！